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壓力傳感器的過載保護(hù)措施
時(shí)間: 2020-05-23 10:07:35 瀏覽次數(shù)：
壓力傳感器有許多參數(shù)，其中一個(gè)是過載保護(hù)。過載是指負(fù)荷過大，超過設(shè)備本身的額定負(fù)荷?，F(xiàn)象是電流太大，電氣設(shè)備發(fā)熱。過載保護(hù)是指即使負(fù)荷超過額定負(fù)荷也不會(huì)出現(xiàn)線路燒毀的情況，但有某一程度，一般在150%的范圍內(nèi)，且不能繼續(xù)過載工作。
目前，小量程、高靈敏度壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在具有犧牲層結(jié)構(gòu)的壓力傳感器上。這主要是因?yàn)榫哂袪奚鼘咏Y(jié)構(gòu)的壓力傳感器彈性膜片很薄，厚度可以達(dá)到2米，甚至更薄。在這種薄膜結(jié)構(gòu)上，如果擴(kuò)散硅壓力傳感器或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)的應(yīng)變電阻，其厚度相對(duì)較大，對(duì)膜片的彈性應(yīng)力分布有很大影響，不利于壓力傳感器犧牲層結(jié)構(gòu)的性能優(yōu)化，因此多晶硅納米薄膜的制備應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。
目前，小量程、高靈敏度壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在具有犧牲層結(jié)構(gòu)的壓力傳感器上。這主要是因?yàn)榫哂袪奚鼘咏Y(jié)構(gòu)的壓力傳感器彈性膜片很薄，厚度可以達(dá)到2米，甚至更薄。在這種薄膜結(jié)構(gòu)上，如果擴(kuò)散硅壓力傳感器或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)的應(yīng)變電阻，其厚度相對(duì)較大，對(duì)膜片的彈性應(yīng)力分布有很大影響，不利于壓力傳感器犧牲層結(jié)構(gòu)的性能優(yōu)化，因此多晶硅納米薄膜的制備應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。
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